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电容式mems加速度传感器原理是什么
其工作原理是利用被测物体与传感器之间的电容变化来进行测量。当物体靠近电容式传感器时，物体所占据的空间会影响电容值的大小，从而使传感器输出的信号发生变化。
微加速度传感器有压阻式、压电式、电容式等形式。 ·压电式 压电式传感器是利用弹簧质量系统原理。敏感芯体质量受振动加速度作用后产生一个与加速度成正比的力，压电材料受此力作用后沿其表面形成与这一力成正比的电荷信号。
电容式传感器工作原理 电容式传感器的核心部分就是具有可变参数的电容器。若忽略边缘效应，平板电容器的电容C=εA/δ，式中ε为极间介质的介电常数，A为两电极互相覆盖的有效面积，δ为两电极之间的距离。
电容式传感器的工作原理基于电容这一物理量的变化，当被检测物理量丝毫变化时，有可能会导致相应的电容值发生变化，这种变化一般可通过实验或者计算来获得。因为其基于电容量的变化来进行物理量的检测。
电容器就是由两个相互不导通的金属板组成，两金属板称为电容器的极板，电容器极板之间有绝缘材料充填，也可以是空气。电容器的容量等于绝缘材料的介电常数乘以电容器极板的面积，再除于两极板之间的距离。
电容式加速度传感器主要是根据电容原理制作而成的，其对加速度的检测主要是利用其对电容正负极的距离变化的检测来实现的。目前，该类加速度传感器在汽车安全气囊以及手机设备中有突出的应用。
简述电容式加速度传感器的工作原理
当悬臂梁受到外界加速度时，电容器内的电荷分布会发生变化，这会导致电容器内电荷的变化，从而产生一个电压差。这个电压差与外界加速度成正比，因此可以通过测量这个电压差来推算出外界加速度的大小。
电容型加速度传感器的结构形式一般也采用弹簧质量系统。当质量受加速度作用运动而改变质量块与固定电极之间的间隙进而使电容值变化。
其工作原理是利用被测物体与传感器之间的电容变化来进行测量。当物体靠近电容式传感器时，物体所占据的空间会影响电容值的大小，从而使传感器输出的信号发生变化。
根据电容式传感器的工作原理，分为三种类型：变极板间距的变极距型 变极板间距型电容式传感器的特点：电容量与极板间距成反比。主要用于测量位移量。
压电式加速度传感器的原理是利用压电陶瓷或石英晶体的压电效应，在加速度计受振时，质量块加在压电元件上的力也随之变化。当被测振动频率远低于加速度计的固有频率时，则力的变化与被测加速度成正比。
电容式传感器工作原理 电容式传感器的核心部分就是具有可变参数的电容器。若忽略边缘效应，平板电容器的电容C=εA/δ，式中ε为极间介质的介电常数，A为两电极互相覆盖的有效面积，δ为两电极之间的距离。
加速度传感器分类介绍以及品牌推荐
1、IEPE型压电加速度计既工程人员称之的ICP型压电加速度计，也称为低阻抗电压输出型加速度计。
2、XC-3半液浮加速度传感器：该加速度计输出交流模拟信号，主要用于检测飞行器的线性加速度。3 伺服加速度传感器 5511型石英挠性伺服加速度传感器：石英挠性伺服加速度计实际上是一个力平衡式的伺服系统。
3、压阻式基于世界领先的MEMS硅微加工技术，压阻式加速度传感器具有体积小、低功耗等特点，易于集成在各种模拟和数字电路中，广泛应用于汽车碰撞实验、测试仪器、设备振动监测等领域。
4、加速度传感器的品牌及规格太多了，进口国产均有，首先要知道其应用场合及加速度测量范围及加速度的频率特性，再选择合适的品牌及规格。
