本文目录一览：
- 1、薄膜规真空计安装要求
- 2、真空计的分类原理介绍
- 3、关于真空规
薄膜规真空计安装要求
1、不可以。根据查询皮拉尼真空计使用说明得知，皮拉尼真空计的安装应该垂直安装，仪表的显示面应该垂直朝上，而且在水平位置下使用时会影响其测量准确性，因为液体和固体的重力会对压力传感器造成干扰。
2、真空规管一般是装在真空镀膜室的位置，是指电离规管，玻璃管端部用老虎钳夹破一点，插进真空室密封好，必须大气状态完成。
3、一般就是把真空计的物理接口，KF接口或者是螺纹接口接到腔室上，然后把真空计的电气接口接到电脑或者专用的显示仪表上。这样就可以测量腔室的真空度，也能看到真空度具体的数值了。
真空计的分类原理介绍
(2)热传导真空计：利用低压下气体热传导与压力有关这一原理制成。常用的有电阻真空计和热偶真空计。(3)热辐射真空计：利用低压下气体热辐射与压力有关原理。
真空计 BPG400 and PCG 402 都是皮拉尼（Pirani）真空计皮拉尼（Pirani）真空计原理低温的气体分子碰撞高温固体时，会从固体夺取热量。通过被气体分子夺取的热量来计算压力的真空计被成为热传导真空计。
b-a型真空计原理是由两个电极组成：一个热阴极和一个阳极，在真空状态下，阳极上会产生少量的气体离子，并且这些离子会移向热阴极。
关于真空规
真空规管：定义：真空规管就是测量真空度的传感器；原理：测量出来的信号传输到真空计上经过放大处理显示出被测真空环境的真空度；用途：主要应用于真空环境的真空度测量领域，如真空镀膜，太阳能集热管制作，真空冶炼等。
标准气源，校准设备。标准气源：皮拉尼真空规的校准需要使用稳定且准确的标准气源，如高纯氧气、高纯氮气等。校准设备：校准设备通常由高精度的电子数字压力表和真空泵组成，用于测量和调整皮拉尼真空规的读数和精度。
在真空管路上留一个相应DN16或者25的孔，将真空规用密封圈和clamper接上即可；在真空腔体上，需相应尺寸的直通尺寸，大气接触面为密封面，真空面为普通平整面，推荐用inficon套装即可实现密封和真空规接入。
会。没有绝对准确的时候，或多或少都有误差，真空规管的误差相比于电离规管的误差极小，在校准后可以忽略不计，但是严格意义来说是有误差的，会不准。真空规管就是测量真空度的传感器。
真空计，又叫真空规。半导体设备中，不可避免的用到真空计，主要是用来测量某一个腔室或者管道中的压强。是什麽？能做什么？怎么用？1，是什麽？真空计，字面意思，计量真空度的仪器。
ZJ-53BZJ-51型热偶真空规管 特点：该型规管采用贵金属铂丝作加热丝，镍铬-康铜作热偶丝，具有结构简单，价格适中的特点。适用于低真空测量。
