电容薄膜真空计（电容薄膜真空计包装）

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1、(2)热传导真空计：利用低压下气体热传导与压力有关这一原理制成。常用的有电阻真空计和热偶真空计。(3)热辐射真空计：利用低压下气体热辐射与压力有关原理。

2、真空计 BPG400 and PCG 402 都是皮拉尼（Pirani）真空计皮拉尼（Pirani）真空计原理低温的气体分子碰撞高温固体时，会从固体夺取热量。通过被气体分子夺取的热量来计算压力的真空计被成为热传导真空计。

3、b-a型真空计原理是由两个电极组成：一个热阴极和一个阳极，在真空状态下，阳极上会产生少量的气体离子，并且这些离子会移向热阴极。

4、压力有两种表示方法：一种是以绝对真空作为基准所表示的压力，称为绝对压力；另一种是以大气压力作为基准所表示的压力，称为相对压力。由于大多数测压仪表所测得的压力都是相对压力，故相对压力也称表压力。

5、真空计（Vacuum Gauge），c真空表，是测量真空度或气压的仪器。一般是利用不同气压下气体的某种物理效应的变化进行气压的测量。在科研和工业生产中广泛使用。

6、由于采用计算机为主控单元，能很方便地扣除由于环境因素产生的漏电电流。

电容薄膜真空计（电容薄膜真空计包装）

绝热过程。自由膨胀过程由于体系经历绝热过程，故与外界无热交换。又由于气体向真空自由膨胀，外压为零，故体系对环境做功也为零。

理想气体绝热自由膨胀过程是非准静态过程。理想气体绝热自由膨胀过程是非准静态过程，除初、末态外，系统每一时刻都处于非平衡态。所以理想气体绝热自由膨胀过程不能用PV图表示。

理想气体向真空自由膨胀，由于初、终两态温度不变(设为T)，只是体积由V1增大到V2，所以可用理想气体等温膨胀的可逆过程来连接初、终两态。对于理想气体等温膨胀这一可逆过程dU=0。

校准电离真空计时，应注意以下六点：（1）一般情况下，规管和系统连接时，先将未开封的规管和测量电路连接到一起试一下，检查规管是否正常，然后再接到系统。

测量时严禁使任何气体突然强烈地进入连接系统。读取刻度数值时视线应与水银柱端面处保持垂直。

控制电离电流的大小，避免电流过大损伤阴极。定期清洁阴极表面，去除沉积物，恢复阴极的发射能力。注意维护和保养，及时更换损坏的部件。避免使用高能粒子束照射到阴极上，以免损坏阴极。

1、测量范围：由于原理的限制，电阻规更适合测量低真空，而电离规则更适用于测量高真空。结构：热阴极电离规中需要加热，因此被称为热规。

2、测真空度的装置，一个是用来测量高真空的的压力，一个是用来测量低真空的压力，两个压力使用范围不一样，所以用不同的传感器。电阻规低真空用的，电离规是高真空用的。

3、利用力学性能的真空计典型的有波尔登规（Bourdon）和薄膜电容规；利用气体动力学效应的典型真空计有皮拉尼（Pirani）电阻规和热电偶规；利用带电粒子效应的典型真空计有热阴极电离规和冷阴极电离规。

1、薄膜电容也可以按照其工作原理分为两类，分别是物理和化学薄膜电容。物理薄膜电容是通过物理方法制备的，如热压和热镀的方式来制造阻层。

2、按照真空计测量原理所利用的不同的物理机制，可将主要的真空计分为三大类，分别是利用力学性能、利用气体动力学效应和利用带电粒子效应的真空计。

3、薄膜计是电容式薄膜真空计的简称，其原理是将真空压力的变化产生电容极板之间的距离变化，即电容量的变化，再将电容量的变化转化成为频率的变化，最后转变为电压或电流的变化、最后数字显示出来。

4、不需要加热，因此叫冷规。根据弹性薄膜在压差作用下产生应变而引起电容变化的原理制成的真空计称为电容式薄膜真空计，它由电容式薄膜规管(又称为电容式压力传感器)和测量仪器两部分组成。规是翻译音过来的。

5、真空计和薄膜规的区别如下：原理：真空计是一种用于测量真空度的仪器，基于不同的原理，如热导、冷阴极、热电离等来测量真空度。

6、电容薄膜真空计这是一种阴极与收集极倒置的热阴极电离规。收集极是一根细丝，放在栅网中心，灯丝放在栅网外面，因而减少软X射线影响，延伸测量下限，可测超高真空。

真空规管：定义：真空规管就是测量真空度的传感器；原理：测量出来的信号传输到真空计上经过放大处理显示出被测真空环境的真空度；用途：主要应用于真空环境的真空度测量领域，如真空镀膜，太阳能集热管制作，真空冶炼等。

标准气源，校准设备。标准气源：皮拉尼真空规的校准需要使用稳定且准确的标准气源，如高纯氧气、高纯氮气等。校准设备：校准设备通常由高精度的电子数字压力表和真空泵组成，用于测量和调整皮拉尼真空规的读数和精度。

会。没有绝对准确的时候，或多或少都有误差，真空规管的误差相比于电离规管的误差极小，在校准后可以忽略不计，但是严格意义来说是有误差的，会不准。真空规管就是测量真空度的传感器。

在真空管路上留一个相应DN16或者25的孔，将真空规用密封圈和clamper接上即可；在真空腔体上，需相应尺寸的直通尺寸，大气接触面为密封面，真空面为普通平整面，推荐用inficon套装即可实现密封和真空规接入。

真空计，又叫真空规。半导体设备中，不可避免的用到真空计，主要是用来测量某一个腔室或者管道中的压强。是什麽？能做什么？怎么用？1，是什麽？真空计，字面意思，计量真空度的仪器。

这种真空规管叫电离规，在在真空度到到它本身的量程内后，才能启动，启动后一直是亮着。如果不亮，说明规管坏掉了，或内启动。