半导体sti(半导体sti divot形成原因)

半导体sti(半导体sti divot形成原因)
本文目录一览:1、半导体sod是什么意思2、半导体芯片工艺——CMOS工艺3、半导体hdp是什么意思半导体sod是什么意思半导体SOD是用于硅薄膜制备工艺的涂覆物质(Spin-onDielectrics,简称SOD),即半导体存储芯片的浅沟槽隔离(STI)的隔离填充物,在半导体的晶体管与晶体管之间起到绝缘作用。SOD,即超...