半导体流程图(半导体主要工艺流程) 本文目录一览:1、FinFET工艺技术详解2、收藏:最全半导体产业链详细梳理(附相关概念)3、新版PFMEA中的过程步骤应该如何理解?FinFET工艺技术详解FinFET工艺技术与传统平面MOSFET不同,前段采用立体结构,融合了HKMG技术和应变团芦闷硅技术,后期则沿用铜制程的大马士革工艺。工艺难点在于精细控制Fin的形状,...